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外観検査装置/ウェーハ表面検査装置/株式会社 山梨技術工房

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

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確かな技術と自由な発想 最適な検査装置をご提案します

株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TOPICS

  • シリコンウェーハ等のウェーハ表面検査装置の製造、販売。
  • ガラス基板表面検査装置、サファイヤ表面検査装置、LTウェーハ表面検査装置の製造、販売。
  • SiC/GaN関連、ウェーハ表面検査装置の製造、販売。
  • フィルムシート等特殊サンプル用ウェーハ表面検査装置の製造、販売。
  • レティクル/ペリクル用異物検査装置YPIシリーズの製造、販売。
  • 特に透明ガラス基板においては 表/裏を判別する表裏分離センサを装備することで 表/裏を分離して測定し精度の高い測定を実現。
  • その他 製造装置、検査装置の製造販売、個別ファームウェア開発/ソフトウェア開発/機械設計/回路設計等。
  • 静電気関連、イオナイザーの製造販売。(イオナイザーの詳細はこちら
  • 多点、装置内洗浄度クリーン測定:パーティクルモニターの製造販売(パーティクルモニターの詳細はこちら

NEWS新着情報

2017年9月1日
YPI−SI 15周年記念セール開催のお知らせ。
弊社ホームページへのアクセス、誠にありがとうございます。
YPIシリーズ発売15周年に新しいモデルをリリース致します。
その記念セールとして、2018年3月までに新モデル発注及び納入のお客様に限り特別価格を適用させて頂きます。
この機会に是非、弊社ウェーハパーティクルスキャナをご検討ください。

仕様・価格等の詳細はこちら。⇒ クリック
2017年7月24日
英語版ホームページをリニューアルしました。
2017年4月12日
プローバ装置の製品紹介を追加しました。⇒ クリック
2017年3月28日
ローダ・アンローダ装置の製品紹介を追加しました。⇒ クリック
2016年12月16日
SEMICON Japan 2016に出展しました。⇒ クリック
2016年11月15日
YPI−MX-DCの製品紹介にLTウェーハ測定結果例を追加しました。
(詳細はこちら

 
2016年7月8日
DF-100(小型・高機能光学式外観検査装置 )の製品紹介の説明を追加しました。(詳細はこちら

 
2016年6月3日
パーティクルモニターの製品紹介を追加しました。
(パーティクルモニターの詳細はこちら

2015年12月18日
SEMICON Japan 2015に出展しました。⇒ クリック
2015年 5月15日
YPIシリーズにオプション新機能を追加しました。
2015年 7月 3日
DF-100(小型・高機能光学式外観検査装置 )の製品紹介を追加しました。
2015年 7月 3日
サイトをリニューアルしました。

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