株式会社　山梨技術工房

主な製品情報

ガラス基板、シリコンウェハ、フィルムシート、サファイア基板等の表面の異物を高速に測定する表面異物検査装置
［ＹＰＩシリーズ］の製造／販売。
ウェハエッジの異物等を測定するＹＰＩ－３００ＥＤＧＥの製造、販売等。
静電気対策機器の製造、販売。

ＹＰＩ－３００ＥＤＧＥはウェーハエッジに関して表面から裏面とウェハエッジ全域を検査する事が可能となっており、
測定後ウェハーエッジの不良原因（異物、膜剥れ、クラック等）を観察する事が可能となっております。

■株式会社山梨技術工房　
ＹＧＫ　ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ
当社は、平成６年に半導体、液晶製造工程での検査及び試験製造装置開発、製造を目的に設立され、多様なニーズにお答えすべく、全社員好奇心とチャレンジ精神を持ち急激に変化する業界に新技術を提案し得意様各位の評価を頂いて参りました。これからもエレクトロノクス・メカニックスを時代のトレンドに合わせ勇往邁進し向上させ、より以上に不断の努力を続けていく所存であります。