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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

DF/WF-100小型・高機能光学式外観検査装置




顕微鏡目視検査の自動化に最適。
ウェーハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。
一度に二つの面を検査できますので、透明基板の場合、表面と裏面、表面と内部を同時に検査でき、検査結果の 切り分けも可能です。




装置仕様

対応基板サイズ
最大200mm×200mm
スループット
約1分30秒 □100mm(3μm検出)
ワーク設置
マニュアル バキューム吸着
装置外形寸法
W800mm×D800mm×H1,710mm
最高分解能
0.87μm
検査対象基板
ウェーハ、ガラス・各種基板。ノンパターンもしくは同一パターン
(グリッド、ピンホール)
レビュー機能

バナースペース

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