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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI−100ウェハー表面検査装置


超簡単操作で検査可能な超小型ウェハー表面異物検査装置。
最小検出可能粒径は、0.5μm。

装置仕様

ワークサイズ
最大200×200(mm) 測定エリア最大□100mm
スキャン方式
センサをX−Yスキャン
スループット
□100mmを約4分
ワーク供給方法
マニュアル
装置サイズ(幅×奥行×高さ)
W550×D430×H268(mm) 背面HEPA、パトライト含まず
装置重量
約25kg
消費電力
約500W(100V)
最小検出感度
0.5μm/Siウェーハ
検査対象基板
Siウェーハ、透明ガラス基板

バナースペース

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