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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI−200ウェハー表面検査装置


超簡単操作で検査可能なウェハー表面異物検査装置。
最小検出可能粒径は、0.152μm。

装置仕様

ワークサイズ
最大200×200(mm)
スキャン方式
センサをX−Yスキャン
スループット
□200mmを約4分
ワーク供給方法
マニュアル
装置サイズ(幅×奥行×高さ)
W880×D680×H394(mm) 背面HEPA、パトライト含まず
装置重量
約70kg
消費電力
約1.5kW(100V)
最小検出感度
0.152μm/Siウェーハ
検査対象基板
Siウェーハ、透明ガラス基板

バナースペース

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