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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI−500大型ガラス基板検査装置


           
大型ガラス基板検査装置。
透明ガラス基板からフィルムシートの各種大型基板の表面異物検査が可能。
センサ自動焦点機構で、基板中央のタワミに対応。

装置仕様

ワークサイズ
最500×500(mm)
スキャン方式
センサをX−YーZスキャン
スループット
□500mmを約25分(0.5mmレーザスキャン時)
ワーク供給方法
マニュアル
装置サイズ(幅×奥行×高さ)
W1,150×D1,100×H1,135(mm)
装置重量
約500kg
消費電力
約1.5kW(100V)
最小検出感度
0.5μm/透明ガラス基板
検査対象基板
透明ガラス基板、各種膜付きガラス基板、フィルムシート等
オプションで表裏分離センサを搭載可能

バナースペース

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