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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI−MN小型・高機能 ウェーハ表面検査装置

小型・高機能 ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
新開発の高機能・省スペースタイプ。
設置面積はYPI−200比50%。
小型省スペースながら最小検出粒径は0.15μmの高精度、使用形態に合わせて移動可能な小型表面検査
装置です。
オプション機能として、透明基板対応用表裏分離機能(裏面の影響を排除して表面の測定を実施)を搭載可能。
測定結果は、検出マップ・サイズ別粒子数及びヒスト、異物画像を付属のP/Cに表示・記録可能です。

装置仕様

ワークサイズ
最大200×200mm、φ200mm(φ300mm測定対応可能※1)
最小検出粒径(ベアSi PSL粒子)
Siウェーハ 0.152μm
透明ガラス基板0.3μm(オプション装備が必要)
使用レーザー・検出ユニット
405nm(青色レーザー)及びフォトマル(PMT)
スキャン方式
X−Y、螺旋スキャン
ワーク供給方法
マニュアル
装置サイズ(幅×奥行×高さ)
W548×D572×H962(mm) P/C別
装置重量
90kg(P/C除く)
電源
AC100V 15A

                   ※1 φ300mm対応時は、奥行き寸法が変わります。


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