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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

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YPI-MXシリーズ(自動搬送)ガラス基板/サファイア 表面検査装置




YPI-MX-XYA/YPI-MX-ΘA
ガラス基板表面検査装置/サファイア表面検査装置 YPI-MXシリーズ(自動搬送)
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。

装置仕様

対応基板サイズ
最大200mm×200mm
(200mm以上をご希望の場合はご相談ください)
スキャン方式
X-Yスキャン/Θ-Xスキャン(螺旋スキャン)
スループット


□200mm(X-Y)約4分
Φ200mm(Θ)  2分以内
Φ150mm(Θ)  1.5分以内
Φ100mm(Θ)  1分以内
ワーク設置
搬送ロボット(裏面吸着/エッジクランプ)
装置外形寸法
W1,530mm×D1,300mm×H1,903mm
本体重量
約1,000kg
消費電力
約2.0kW(100V)
検査対象基板
Siウェーハ、透明ガラス基板、サファイア基板、LTウェーハ、SiC等
最小検出感度
透明ガラス基板  0.2μm
Siウェーハ   0.1μm

バナースペース

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