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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

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〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI−Nシリーズ(自動搬送)ウェーハ表面検査装置




YPI−N−XYA/YPI−N−ΘA
ウェーハ表面検査装置 YPI-Nシリーズ(自動搬送)
鏡面基板(シリコンウェーハ等)の表面異物を高速にスキャン。
小型基板(2インチ、3インチ)から8インチウェーハまで幅広く測定可能です。

装置仕様

対応基板サイズ
最大200mm×200mm
(200mm以上をご希望の場合はご相談ください)
スキャン方式
X−Yスキャン/Θ−Xスキャン(螺旋スキャン)
スループット
□200mmを約4分/Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可能)
ワーク設置
搬送ロボット(裏面吸着/エッジクランプ)
装置外形寸法
W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm
本体重量
約800kg
消費電力
約1.5kW(100V)
検査対象基板
Siウェーハ、各種膜付きウェーハ
最小検出感度
Siウェーハ時、0.1μm

バナースペース

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