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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

ウェーハ表面パーティクルスキャナ 新製品のご案内  


〜YPIシリーズ15周年記念モデル期間限定セール〜

弊社ホームページへのアクセス、誠にありがとうございます。

YPIシリーズ発売15周年に新しいモデルをリリース致します。
その記念セールとして、2018年3月までに新モデル発注及び納入のお客様に限り特別価格を適用させて頂きます。
この機会に是非、弊社ウェーハパーティクルスキャナをご検討ください。
《YPI−SI》

  特別価格 :750万円(本体のみ)

  対応サイズ:4〜6インチ
        シリコンウェーハ限定

  販売台数 :3台


主用途

クリーンルーム環境管理仕様
検出感度 1μm〜
◆パーティクル増加差分ソフト付き
洗浄確認仕様
検出感度 0.3μm〜
◆パーティクル減少差分ソフト付き
お問い合わせ
  弊社営業部        TEL 055-284-6866  深津・湯まで
  メールでのお問い合わせ  kfukatsu@ygkcop.co.jp


クリーンルーム環境管理仕様

お客様より、より小さいサイズのパーティクルの管理要望を受けた事がないでしょうか?

パーティクル発生原因を特定する為に、ウェーハをパーティクル発生元と思われる場所に置き、増加量をチェックする方法があります。
弊社新製品のYPI−SIは、1μmサイズのパーティクルから管理可能です。
また増加量のみを表示可能なので、ウェーハの洗浄も大幅に少なくできます。


洗浄確認仕様

洗浄確認にシリコンウェーハを代用。
洗浄効果を確認する方法です。



個数とサイズの減少がすぐに確認できるので、洗浄レシピ作成に最適です。








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