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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

製品一覧PRODUCTS

YPI−MX−Θ DC

【新開発】
SiC/GaN関連 ウェハ表面検査装置
SiC 表面パーティクルスキャナ デュアルヘッド搭載[YPI-MX-θ DC]

○○○○○○○○イメージSiCに限らず透明ガラスウェーハ、シリコンウェーハ、LTウェーハの
測定も可能。最小検出粒径 0.1μm。
4インチSiCウェーハを潜傷検出測定も含めて5分以内に測定。

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LTウェーハ測定結果例

YPI−MN

小型・高機能 ウェーハ表面検査装置
表面パーティクルスキャナ[YPI-MN]

○○○○○○○○イメージ透明ガラス基板 0.3μm測定可能。
Siウェーハ   0.15μm測定可能。
測定可能サイズ 200mmまで可能(※条件あり)

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Wafer Surface Scanner   

ミニマルハーフインチウェーハ 表面パーティクル検査装置

○○○○○○○○イメージSiウェーハ   0.1μm測定可能。

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DF/WF-100

小型・高機能光学式外観検査装置[DF/WF-100]

○○○○○○○○イメージ顕微鏡目視検査の自動化に最適。
ウェーハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。

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YPI−MXシリーズ(自動搬送)

ガラス基板表面検査装置/サファイア表面検査装置[YPI-MXシリーズ(自動搬送)]

○○○○○○○○イメージ透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離可能。

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YPI−MXシリーズ(マニュアル)

ガラス基板表面検査装置/サファイア表面検査装置[YPI-MXシリーズ(マニュアル)]

○○○○○○○○イメージ透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離可能。

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YPI−Nシリーズ(自動搬送)

ウェーハ表面検査装置[YPI-Nシリーズ(自動搬送)]

○○○○○○○○イメージ鏡面基板(シリコンウェーハ等)の表面異物を高速にスキャン。
小型基板(2インチ、3インチ)から8インチウェーハまで幅広く測定可能。

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YPI−Nシリーズ(マニュアル)

ウェハ表面検査装置[YPI-Nシリーズ(マニュアル)]

○○○○○○○○イメージ鏡面基板(シリコンウェハ等)の表面異物を高速にスキャン。
小型基板(2インチ、3インチ)から8インチウェハまで幅広く測定可能。

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YPI−200

ウェハー表面検査装置[YPI-200]

○○○○○○○○イメージ超簡単操作で検査可能な ウェハー表面異物検査装置。
最小検出可能粒径 0.152μm。

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YPI−100

ウェハー表面検査装置[YPI-100]

○○○○○○○○イメージ超簡単操作で検査可能な 超小型ウェハー表面異物検査装置。
最小検出可能粒径 0.5μm。

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YPI−500

大型ガラス基板検査装置[YPI-500]

○○○○○○○○イメージ透明ガラス基板からフィルムシートの各種大型基板の表面異物検査が可能。
センサ自動焦点機構で、基板中央のタワミに対応。

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YPI−200F

フィルムシート検査装置[YPI-200F]

○○○○○○○○イメージフィルムシートのロールTOロールに対応可能なフィルムシート表面
検査装置。

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YPC−03U

0.3μm検出可能パーティクルセンサー[YPC-03U]

○○○○○○○○イメージステンレス筐体仕様なのでクリーンルーム、半導体製造装置、検査装置内部の
使用に最適。
見やすいLEDを採用。
超簡単操作で即測定可能。

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プローバ装置

自動搬送フルオートプローバ

○○○○○○○○イメージ様々なアライメントマークに対応。高精度なプロービング検査が可能。

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ローダ・アンローダ装置

ローダ装置

マガジンラックの基板を、自動的に生産工場のライン設備へ送り出します。


アンローダ装置

○○○○○○○○イメージ生産工程のライン設備より搬送された基板を、自動的にラックへ収納します。

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エアロゾルゾンデ

気中パーティクルカウンター[エアロゾルゾンデ]

○○○○○○○○イメージ気球搭載用気中パーティクルカウンター。
粒径毎のエアロゾル濃度を測定。

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イオナイザー

静電気除去装置[イオナイザー]

○○○○○○○○イメージ独自センサーでイオン出力を検知し、最適イオン出力をコントロール。

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バナースペース

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